[实用新型]多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置有效
申请号: | 200820222844.0 | 申请日: | 2008-11-24 |
公开(公告)号: | CN201305656Y | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 戴自忠;涂大勇 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C01B33/03 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 方 强 |
地址: | 614800四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管外部设置有压缩空气来源装置和空气通风管道,压缩空气来源装置和空气通风管道固定连接,所述空气通风管道上设置有输出空气的出气孔;该装置可以达到良好的冷却效果,可以使多晶硅氢还原炉运行十分稳定正常,安全高效;结构简单,操作方便安全。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 气管 空气冷却 装置 | ||
【主权项】:
1、多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置,其特征在于:出气管(1)外部设置有压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3),压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3)固定连接,所述空气通风管道(3)上设置有输出空气的出气孔(4)。
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