[实用新型]多晶硅氢还原炉

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳，炉壳安装在炉盘上；炉盘上布有进、出气管，进气管的进气端上设有喷口，炉盘上设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，还原炉炉盘下部的进气管与炉盘上部的喷口为可拆卸式连接，喷口为石墨喷口；电极与硅芯棒之间通过石墨夹头固定连接，石墨夹头的夹瓣和硅芯棒之间设有柔性石墨垫，柔性石墨垫设置在石墨夹头的夹瓣顶部与硅芯棒之间；电极的电极头外侧与石墨夹头底部的外侧设有螺纹，电极的电极头与石墨夹头底部之间通过螺母连接。本实用新型可有效调整工艺的自由度，将还原炉的效率调整到最佳状态，大大降低了倒炉率，延长了还原炉设备的使用寿命，降低了成本。

主权项

1、多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳(1、2)，炉壳安装在炉盘(6)上；炉盘(6)上布有进、出气管(11)，进气管(11)的进气端上设有喷口(10)，炉盘(6)上设有加热电极(7)，电极(7)上一一对应安装有硅芯棒(3)，其特征在于：所述还原炉炉盘(6)下部的进气管(11)与炉盘(6)上部的喷口(10)为可拆卸式连接，所述喷口(10)为石墨喷口；所述电极(7)与硅芯棒(3)之间通过石墨夹头(12)固定连接，石墨夹头(12)的夹瓣和硅芯棒(3)之间设有柔性石墨垫(16)，所述柔性石墨垫(16)设置在石墨夹头(12)的夹瓣顶部与硅芯棒(3)之间；电极(7)的电极头外侧与石墨夹头(12)底部的外侧设有螺纹，电极(7)的电极头与石墨夹头(12)底部之间通过螺母(13)连接。