[实用新型]PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置无效
| 申请号： | 200820179653.0 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN201326031Y | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 周积卫;茅陆荣;郝振良;程佳彪 | 申请（专利权）人： | 上海森松环境技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐乐慧 |
| 地址： | 201208上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置，其包括有PLC控制器和仪表气源、与还原炉进气口一一对应连接的至少一个截止式方向控制阀，每个截止式方向控制阀配备有一个单电控制换向阀，所述截止式方向控制阀的气体出口与所述还原炉的进气口连接，所述截止式方向控制阀的气体进口直接连接工艺气体输入设备，所述单电控制换向阀的气体进口和一个气体出口接所述仪表气源，所述单电控制换向阀的另一个气体出口与所述截止式方向控制阀的控制口连接，所述PLC控制器与所述单电控制换向阀连接。 | ||
| 搜索关键词： | plc 自动控制 多晶 还原 炉进气 装置 | ||
【主权项】：
1、一种PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置，包括PLC控制器(3)和仪表气源(4)，其特征在于，还包括有与还原炉进气口一一对应连接的至少一个截止式方向控制阀(1)，每个截止式方向控制阀(1)配备有一个单电控制换向阀(2)，所述截止式方向控制阀(1)的气体出口(T)与所述还原炉的进气口连接，所述截止式方向控制阀(1)的气体进口(P)直接连接工艺气体输入设备，所述单电控制换向阀(2)的气体进口(A)和一个气体出口(N)接所述仪表气源(4)，所述单电控制换向阀(2)的另一个气体出口(M)与所述截止式方向控制阀(1)的控制口(K)连接，所述PLC控制器(3)与所述单电控制换向阀(2)连接。
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