[实用新型]一种洁净室

摘要

本实用新型公开了一种洁净室，包括一洁净空间、设置在洁净空间顶部的框架、风机过滤机组和组合式净化空调器，所述框架上配合布满所述风机过滤机组，所述组合式净化空调器的出风口与风机过滤机组上方的负压空间的顶部连通，所述洁净空间外侧设有向外排风的回风通道，所述负压空间的侧壁上周向均布有至少2个通孔，各通孔内固定设有干盘管，使负压空间与回风通道通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。本实用新型可实现室内温度±0.5℃的控制要求，可应用于晶圆生产厂等高科技行业中。

主权项

1. 一种洁净室，包括一洁净空间(1)、设置在洁净空间顶部的框架(2)、风机过滤机组(6)和组合式净化空调器(3)，所述框架(2)上配合布满所述风机过滤机组(6)，所述组合式净化空调器(3)的出风口与风机过滤机组上方的负压空间(4)的顶部连通，所述洁净空间(1)外侧设有向外排风的回风通道(5)，其特征在于：所述负压空间(4)的侧壁上周向均布有至少2个通孔，各通孔内固定设有干盘管(7)，使负压空间(4)与回风通道(5)通过干盘管连通；所述洁净空间内设有复数个温度传感器，其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。