[实用新型]气瓶柜强制供气装置有效
| 申请号： | 200820152787.3 | 申请日： | 2008-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN201251013Y | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王东海 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种气瓶柜强制供气装置，用于向工艺气体气瓶柜的气动阀供气，其包括：进气管；供气本体，连接于所述进气管；多个出气管，连接于所述供气本体。本实用新型提出的气瓶柜强制供气装置结构简单操作方便并且能够在很短时间内完成气瓶柜强制供气的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 气瓶柜 强制 供气 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种气瓶柜强制供气装置，用于向工艺气体气瓶柜的气动阀供气，其特征在于包括：进气管；供气本体，连接于所述进气管；多个出气管，连接于所述供气本体。
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