[实用新型]坩埚内加热加热炉料装置无效
申请号: | 200820072692.0 | 申请日: | 2008-11-03 |
公开(公告)号: | CN201289302Y | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 任兵;刘占国;刘硕 | 申请(专利权)人: | 长春晶科光电有限公司 |
主分类号: | F27B14/14 | 分类号: | F27B14/14 |
代理公司: | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人: | 马守忠 |
地址: | 130012吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 坩埚内加热加热炉料装置,其构成包括:保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)和坩埚盖(5)构成;坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上,所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体(3),所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部,所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。由于坩埚内加热的技术方案,加热体几乎只对坩埚加热,热损耗小,热用率高,升温速度快;加热体在坩埚的内部,降低了加热体所占用的炉内空间,坩埚容量增大,装料量增加,每炉制备镀膜材料达100余kg,产量提高两倍,恒温耗电功率只有3万瓦。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 加热 炉料 装置 | ||
【主权项】:
1、坩埚内加热加热炉料装置,其特征在于,其构成包括:保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)、坩埚盖(5)和支座(13、14);所述的坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上,所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体(3),所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部,所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。
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