[实用新型]蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置

摘要

一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊；移动基座上还设置有晶圆棒紧固装置。将定向仪的旋转轴伸入本实用新型装置固定基座和移动基座的通孔内，将待定向晶圆棒放置在旋转辊上，通过旋转、左右摆动晶圆棒找到晶向，将晶圆棒夹紧后用粘接装置将晶圆棒粘接在加工用工装上进行加工。采用本装置，确保加工时的晶向与在定向装置上找到的晶向一致，定向精度高，生产效率和产品质量都得到大幅度提高，同时减少了专用粘接仪，节省了大量的设备投资，降低了生产成本。

主权项

1、一种蓝宝石晶圆棒快速精确定向装置，其特征在于：包括晶圆棒C向定向装置，所述C向定向装置包括固定基座，所述固定基座的上部设置移动基座，固定基座和移动基座的一端对应设置通孔，在固定基座的另一端设置使移动基座水平移动的机构；螺母移动基座上还设置定位孔，定位孔内设置定位杆；移动基座上固连有支撑座，支撑座上套接旋转辊，旋转辊与手动或电动旋转驱动机构相连；移动基座上还设置有支撑板，支撑板上设置晶圆棒紧固装置。