[发明专利]转移测试托盘的装置和方法、具有该装置的处理机、及制造半导体器件的工艺有效

专利信息
申请号: 200810094760.8 申请日: 2008-05-16
公开(公告)号: CN101334446A 公开(公告)日: 2008-12-31
发明(设计)人: 金容仙 申请(专利权)人: 未来产业株式会社
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R1/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;吴贵明
地址: 韩国忠*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供了一种转移测试托盘的装置、一种装备有该装置的处理机、一种在处理机中转移测试托盘的方法、以及一种利用该处理机制造半导体器件的工艺,转移测试托盘的该装置包括:至少一个移动件,该至少一个移动件包括推动第一测试托盘的推动件以及牵引第二测试托盘上的突出部的牵引件;第二板,该至少一个移动件安装至该第二板;以及第一板,该第二板可移动地安装至该第一板。本发明提供了同时转移两个测试托盘的优点。
搜索关键词: 转移 测试 托盘 装置 方法 具有 处理机 制造 半导体器件 工艺
【主权项】:
1.一种用于转移测试托盘的装置,包括:至少一个移动件,所述移动件包括:推动件,推动第一测试托盘;以及牵引件,牵引第二测试托盘上的突出部;第二板,所述至少一个移动件安装至所述第二板;以及第一板,所述第二板可移动地安装至所述第一板。
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