[发明专利]适用于流体输送装置的阀体盖体及阀体座的制造方法

摘要

本发明是一种适用于流体输送装置的阀体盖体的制造方法，其包含下列步骤：提供基板，并于基板的第一表面形成第一屏蔽层；进行喷砂加工工序，以使基板未被第一屏蔽层覆盖的暴露区域形成多个贯穿孔；移除第一屏蔽层，并于基板的第一表面形成第二屏蔽层；进行喷砂加工工序，以于该多个贯穿孔至少一个的周围形成一凹陷区域；移除第二屏蔽层，并于基板的第一表面形成第一连接层，第一连接层包含设置于该多个贯穿孔至少一个周围的微凸结构；于基板的第二表面上形成第二连接层。

主权项

1.一种适用于流体输送装置的阀体盖体的制造方法，该流体输送装置包含一阀体座、一阀体薄膜以及一致动装置，所述方法包含下列步骤：(a)提供一基板，并于该基板的一第一表面形成一第一屏蔽层；(b)进行一喷砂加工工序，以使该基板未被该第一屏蔽层覆盖的暴露区域形成多个贯穿孔；(c)移除该第一屏蔽层，并于该基板的该第一表面形成一第二屏蔽层；(d)进行该喷砂加工工序，以于该多个贯穿孔的至少一个的周围形成一凹陷区域；(e)移除该第二屏蔽层，并于该基板的该第一表面形成一第一连接层，该第一连接层包含设置于该多个贯穿孔至少一个周围的一微凸结构；(f)于该基板的一第二表面上形成一第二连接层。