[发明专利]吸收辐射复合金刚石热交换膜片及其制备方法无效
| 申请号： | 200810050501.5 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101251421A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 梁中翥;梁静秋;王维彪;方伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于测量辐射设备的吸收辐射复合金刚石热交换膜片及其制备方法，该复合金刚石热交换膜片是由含有石墨相的黑色金刚石膜层与纯金刚石片层复合而成，纯金刚石片层作为热沉材料，含有石墨相的黑色金刚石膜层作为光辐射吸收材料。其制备方法是通过一次化学气相沉积制备热沉金刚石片，再在金刚石片上通过二次化学气相沉积含有石墨相的黑色金刚石膜层。本发明复合金刚石热交换膜片具有抗热冲击能力强、吸收辐射材料层受辐射后吸收率稳定无变化的优点，对辐射的吸收率较高，达99％～99.2％，提高了辐射计的测量精度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收 辐射 复合 金刚石 热交换 膜片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种吸收辐射复合金刚石热交换膜片，其特征在于，是由含有石墨相的黑色金刚石膜层与纯金刚石片层复合而成，纯金刚石片层作为热沉材料，含有石墨相的黑色金刚石膜层作为光辐射吸收材料；所述含有石墨相的黑色金刚石膜层是由石墨相碳原子均匀分布在金刚石晶体中形成，该膜层的热导率为6～8W/K·cm、电阻率为108～1012Ω·cm，该膜层表面具有微纳米凹凸结构，粗糙度为5nm～15μm；所述纯金刚石膜片层的热导率≥15W/K·cm、电阻率为1013～1015Ω·cm。
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