[发明专利]离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置和测定方法无效
| 申请号： | 200810040615.1 | 申请日： | 2008-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN101319959A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邹璞;蔡懿;王文涛;夏长权;刘丽;李儒新;刘建胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置和测定方法，测定装置的构成包括：一台He－Ne激光器，沿该He－Ne激光出射激光束方向依次设置扩束器、软边光阑和待测的离轴抛物面镜，在该离轴抛物面镜的反射光束方向依次设置标准叉丝和显微物镜，该显微物镜位于所述的离轴抛物面镜的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD上，该面阵CCD的输出端接计算机，所述的离轴抛物面镜固定在一五维电动调整架上。本发明具有结构简单，调节方便、分辨率高的特点，不仅可以获得离轴抛物面镜焦斑大小尺寸，可以得到焦斑强度二维分布信息，而且可获得焦斑的三维图像信息。 | ||
| 搜索关键词： | 抛物面镜 聚焦 能力 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置，特征在于其构成包括：一台He-Ne激光器(1)，沿该He-Ne激光(1)出射激光束方向依次设置扩束器(2)、软边光阑(3)和待测的离轴抛物面镜(4)，在该离轴抛物面镜(4)的反射光束方向依次设置有一透射式标准叉丝(7)和显微物镜(6)，该显微物镜(6)位于所述的离轴抛物面镜(4)的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD(9)上，该面阵CCD(9)的输出端接计算机(10)，所述的离轴抛物面镜(4)固定在一五维电动调整架上。
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