[发明专利]基于导模激发古斯汉欣位移增强效应的微位移测量方法无效
| 申请号： | 200810034530.2 | 申请日： | 2008-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101241017A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王毅;曹庄琪;余天一;李红根;沈启瞬 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01D5/28 | 分类号： | G01D5/28;G02B6/13;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种精密测量技术领域的基于导模激发古斯汉欣位移增强效应的微位移测量方法，将高平行度的激光入射到沉积在棱镜上的金属膜-空气隙-沉积在光学玻璃片上的金属膜组成的双面金属包覆波导结构中，在满足相位匹配条件时，激光耦合进入波导中引起反射光相位相对于入射光相位产生急剧变化，导致反射光束古斯汉欣位移大大增强，利用这个位移对导波层空气隙厚度变化非常敏感的特性，通过检测反射光古斯汉欣位移的变化来测量光学玻璃片相对于棱镜位置的改变，从而实现对待测物体位移大小的测量。本发明可实现高灵敏度、快速准确的实时测量，且方法简单、抗干扰能力强，可广泛应用于建筑、地质监测，机械加工、材料检测的微位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激发 古斯汉欣 位移 增强 效应 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于导模激发古斯汉欣位移增强效应的微位移测量方法，其特征在于，将高平行度的激光入射到沉积在棱镜上的金属膜-空气隙-沉积在光学玻璃片上的金属膜组成的双面金属包覆波导结构中，在满足相位匹配条件时，激光耦合进入波导中引起反射光相位相对于入射光相位产生急剧变化，从而导致反射光束古斯汉欣位移大大增强，利用这个位移对导波层空气隙厚度变化非常敏感的特性，通过检测反射光古斯汉欣位移的变化来测量光学玻璃片相对于棱镜位置的改变，从而实现对待测物体位移大小的测量。
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