[发明专利]一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法有效
| 申请号： | 200810030830.3 | 申请日： | 2008-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101311342A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 肖益波;陈国红;童晖 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法，当控温热偶出现故障后，将控温热偶闭环温度控制转换成开环功率控制加热功率。其实现方法为：当控温热偶正常运行时，每间隔一段时间存储加热器的温度特征数据，当控温热偶出现故障时，调用上一炉存储的温度特征数据，跟踪其中的加热功率设定值的轨迹，直接控制加热器的加热功率，实现开环控温。本发明所述多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法可靠，易于实现、能最大限度提高设备的可靠性和满足多晶硅锭的安全生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 温热 故障 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法，其特征在于，当控温热偶出现故障后，由控温热偶闭环反馈控制加热器的加热功率转换成开环功率控制加热器的加热功率，其实现方法为：当控温热偶正常运行时，每间隔一段时间存储加热器的温度特征数据，当控温热偶出现故障时，调用上一炉存储的温度特征数据，跟踪其中的加热功率设定值的轨迹，直接控制加热器的加热功率，实现开环控温。
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