[发明专利]一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法无效
| 申请号： | 200810027270.6 | 申请日： | 2008-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101265036A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 徐刚;何云富;黄春明;安赟;王福同 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C03C17/23 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 莫瑶江 |
| 地址： | 510640广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明利用晶体异质外延生长原理，在不损二氧化钒薄膜质量(热色性)的前提下，为二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的沉积提供一种低温制备方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化钒热色薄膜层。本发明采用的氧化锌籽晶层结晶温度低、晶格常数与二氧化钒能很好匹配，特别适合二氧化钒薄膜的异质外延生长，从而可有效降低二氧化钒薄膜的沉积温度，简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺，降低成本，节约能耗，大大降低了二氧化钒智能玻璃产业化过程的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 玻璃 低温 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法，以玻璃为衬底，其特征在于依次包括如下步骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化钒热色薄膜层。
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