[实用新型]特气柜无效
| 申请号： | 200720066463.3 | 申请日： | 2007-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN201014193Y | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 吴海华;胡农 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/08 | 分类号： | F17C13/08;F17D1/04;F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 200000*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种特气柜，它包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气回路、吹扫回路和抽真空回路构成；所述供气回路由工艺钢瓶出口的截止阀I通过管路依次连接气动隔膜阀I、高压截止隔膜阀I、预过滤器I、减压阀I、低压截止隔膜阀I、精密过滤器I接入供气管路；所述吹扫回路由吹扫氮气钢瓶出口的截止阀II通过管路依次连接高压截止隔膜阀II、预过滤器II、减压阀II、单向阀I、高压截止阀I，通过单向阀II、吹扫隔离阀I接入所述供气回路；所述抽真空回路由氮气输入口通过管路依次连接针孔阀I、止回阀I、真空发生器至排气口，真空发生器的真空端通过管路通过高、低压排气阀连接到所述供气回路中。 | ||
| 搜索关键词： | 特气柜 | ||
【主权项】：
1.一种特气柜，它包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成；其特征在于，所述供气管路由工艺钢瓶出口的截止阀I通过管路依次连接气动隔膜阀I、高压截止隔膜阀I、预过滤器I、减压阀I、低压截止隔膜阀I、精密过滤器I接入供气管路；所述吹扫管路由吹扫氮气钢瓶出口的截止阀II通过管路依次连接高压截止隔膜阀II、预过滤器II、减压阀II、单向阀I、高压截止阀I，通过单向阀II、吹扫隔离阀I接入所述供气管路；所述抽真空管路由氮气输入口通过管路依次连接针孔阀I、止回阀I、真空发生器至排气口，真空发生器的真空端通过管路通过高、低压排气阀连接到所述供气管路中。
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