[发明专利]衍射光栅元件及其制造方法和设计方法

摘要

本发明提供一种衍射光栅元件及其制造方法和设计方法。在衍射光栅元件(10)中，在第1介质(11)和第4介质(14)之间，交互设置第2介质(12)和第3介质(13)形成衍射光栅。从第1介质(11)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射，出射到第4介质(14)。或者，从第4介质(14)入射到衍射光栅的光被衍射光栅部衍射出射到第1介质(11)。各介质的折射率n₁～n₄满足n₃＜n₁＜n₂，n₃≤n₄≤n₂或者n₃≤n₁≤n₂，n₃＜n₄＜n₂这样的关系式。

主权项

1.一种衍射光栅元件，其特征在于：在假定了相互平行的第1平面以及第2平面时，具有：在第1平面的外侧相接于第1平面设置的折射率为n1的第1介质；在第1平面和第2平面之间相接于第1平面以及第2平面并在平行于第1平面的预定方向交互设置从而形成了衍射光栅的折射率为n2 的第2介质以及折射率为n3的第3介质，其中n3＜n2；和在第2平面的外侧相接于第2平面设置的折射率为n4的第4介质，上述第1介质、第2介质、第3介质以及第4介质各自的折射率n1～n4满足关系式n3＜n1＜n2、n3≤n4≤n2或者n3≤n1≤n2、n3＜n4＜n2，上述第2介质以及上述第3介质两者都是固体，当设上述第1平面和上述第2平面之间的平均折射率为nav时，上述第1介质的折射率n1满足关系式nav-0.2≤n1≤nav+0.2。