[发明专利]一种碳基钨涂层及其制备方法无效
申请号: | 200710135109.6 | 申请日: | 2007-11-08 |
公开(公告)号: | CN101148102A | 公开(公告)日: | 2008-03-26 |
发明(设计)人: | 陈照峰;张颖;王亮兵;吴王平 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;C23C14/18;C23C14/02;C23C14/22;C23C14/54 |
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地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种碳基钨涂层,其特征在于包含碳基体和钨涂层两部分,均匀致密且具有一定厚度的钨涂层牢固地附着在碳基体表面。纯净的钨板作为靶材。碳材料作为基体,优先选择C/C复合材料和石墨。本发明的优点在于:(1)钨涂层沉积速度较快,大大提高了涂层制备的效率。(2)钨靶和碳基体之间产生高密度的等离子云,大量的钨原子不但覆盖在碳基体表面,基体的侧面和背面也包附了钨涂层。(3)涂层表面致密,没有出现裂纹。(4)涂层和C/C复合材料基体结合较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳基钨 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳基钨涂层,其特征在于包含碳基体和钨涂层两部分,均匀致密且具有一定厚度的钨涂层牢固地附着在碳基体表面。
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