[发明专利]红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200710099556.0 | 申请日： | 2007-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101066844A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 杨海;张树玉;苏小平;黎建明;王宏斌;郝鹏;余怀之;刘伟 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C03C17/22;C23C16/22 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于薄膜技术领域的一种红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜的构成及其制备方法。该膜系可用作3～5μm、8～12μm波段红外光学窗口的增透保护膜，内层BP膜、外层DLC膜依次沉积于光学窗口表面。DLC膜和BP膜的沉积均采用射频等离子体增强CVD技术，使用乙硼烷和磷烷为反应气体沉积BP膜的，使用甲烷为反应气体沉积DLC膜。本发明解决了BP膜与基体、DLC膜与BP膜附着力差的问题，制备的BP膜成分均匀、内应力小。在光学窗口表面沉积DLC/BP双层膜后，对窗口有增透作用，并可显著提高其表面硬度、改善其耐磨性和防腐蚀性，提高其抗雨蚀、砂蚀及盐雾腐蚀的能力，保证其在恶劣使用环境下正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 光学 窗口 dlc bp 保护膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜，包括基片，其特征是在基片表面顺次沉积有BP膜和DLC膜。
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