[发明专利]电子机械元件、电子电路装置及它们的制造方法

摘要

一种电子机械元件，实现解决因在电子机械元件的制造过程中的可动元件上产生负荷而导致可动元件的变形、破损等课题。在牺牲层(23)上形成可动元件(5)，在此可动元件(5)中形成暴露出牺牲层(23)的多个孔(5h)，对于牺牲层从可动元件中形成的孔和可动元件的周边进行残留牺牲层的一部分的第一腐蚀，利用此牺牲层的残留部进行可动元件的机械支承，在此状态下，进行对可动元件施加负荷的作业，此后进行第二腐蚀，去除牺牲层的残留部，如此，在利用牺牲层的一部分进行加强的状态下，进行对上述可动元件施加负荷的作业，从而避免由于此负荷等所导致的制造过程中的可动元件的变形、破损等。

主权项

1、一种电子机械元件，其特征在于，在基体上具有经由中空可机械运动的可动元件；构成为在该可动元件中形成多个孔；在同一列上该多个孔至少被配置有二个，在与该列相邻的其它列上至少配置有一个，与在同一列上排列的相邻孔的间隔相比，相对于该各孔位于最短位置的上述其它列上的孔的间隔更宽。