[发明专利]一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟无效
| 申请号： | 200710047621.5 | 申请日： | 2007-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101225542A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邓惠勇;王奇伟;戴宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟，该石墨舟主要包括：底座、底板、滑移块和回收舟，其中底座的中间开有凹槽；底板嵌入底座的凹槽内，它的中间开有放置回收舟和衬底的两个空腔孔，回收舟空腔内放置用来回收废弃母液的石墨回收舟，衬底空腔的下半部放置用来调节衬底高度的石墨垫片，衬底放在石墨垫片的上面；滑移块位于底板的上方，可以水平方向自由滑移，它的中间开有数个等间隔的母液槽，用来放置不同组分的薄膜生长母液，母液槽的上方盖着石墨盖板。本发明的优点是：外延薄膜生长后母液能够与石墨舟分离，避免了冷却过程中母液与石墨舟的粘连，解决了其它石墨舟无法生长母液粘舟的薄膜生长体系的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 母液 外延 石墨 | ||
【主权项】：
1.本发明的一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟，包括：底座(1)、底板(2)、滑移块(3)、盖板(4)、垫片(5)，其特征在于：A它还有一个回收残余母液(8)的回收舟(6)；B底座(1)的中间开有放置底板(2)的凹槽，它的一端开有一个长方形的固定孔(101)；C底板(2)中间开有放置回收舟(6)的空腔(201)与放置衬底(7)的空腔(202)，其上表面还设置有控制滑移块(3)移动方向的导向导轨(203)；D滑移块(3)中间开有数个用来放置不同组分的薄膜生长母液(8)的等间隔的母液槽(301)；母液槽(301)的上端开有用来镶嵌盖板(4)的凹槽(302)；E垫片(5)的厚度是可调的。
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