[发明专利]偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法

摘要

一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪及其检测方法，该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括：第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器，该图像传感器的输出端接计算机。本发明不仅保持了双剪切干涉波面测量仪的所有特点，而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮廓等优点。

主权项

1.一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪，其特征在于其构成是沿光束的前进方向包括：第一雅敏平行平板(1)、左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)、第二雅敏平行平板(6)、偏振移相器、成像镜组(9)和图像传感器(10)，该图像传感器(10)的输出端接计算机(11)，所述的第二雅敏平行平板(6)与第一雅敏平行平板(1)平行放置，其材料和光学厚度相同，所述的第一雅敏平行平板(1)的入射工作面(A)的分光部位镀有偏振分束薄膜，而另一个工作面(B)的反射部位镀有全反射薄膜，经该第一雅敏平行平板(1)分光后形成两路偏振方向相互垂直的线偏振干涉光束，所述的第二雅敏平行平板(6)的出射工作面(C)的合光部位镀有消偏振分束薄膜，另一个工作面(D)的反射部位镀有全反射薄膜，两路干涉光束经过该第二雅敏平行平板(6)后在其消偏振分束薄膜处进行合光，并且它们的强度相等或者接近相等，所述的左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)的材料、楔角与光学厚度相同，放置在所述的第一雅敏平行平板(1)与第二雅敏平行平板(6)之间，所述的左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)上下叠放且偏转光束的方向相反，形成一个楔形光学平板组，所述的右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)上下叠放且偏转光束的方向相反，形成另一个楔形光学平板组，所述左下楔形光学平板(2)和右下楔形光学平板(4)的短边或者长边相接，所述左上楔形光学平板(3)和右上楔形光学平板(5)的长边或者短边相接且与左下楔形光学平板(2)、右下楔形光学平板(4)之间的相接情况相反，所述的两个楔形光学平板组各自透过一路干涉光束，并使透过的干涉光束上下部分的偏转方向相反。