[发明专利]氢气传感器用薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氢气传感器用薄膜材料，包括基片、合金薄膜材料和保护薄膜；基片和保护薄膜夹覆着合金薄膜材料。也公开了一种氢气传感器用薄膜材料的制备方法。本氢气传感器用薄膜材料，其中的合金薄膜材料由亚微米或纳米晶组成，可重复使用、响应速度快、灵敏度高、测量范围广、也不需要经常校核，本薄膜材料可制备成一种轻便型固态氢气传感器，能耗低，实用范围广，不受检测环境约束，测量的氢气浓度范围广，由于合金薄膜材料粒度小(大约为100nm左右)，对氢气敏感性高，因而灵敏度好。

主权项

1.氢气传感器用薄膜材料，其特征在于：所述薄膜材料包括基片、合金薄膜材料和保护薄膜；基片和保护薄膜夹覆着合金薄膜材料；合金薄膜材料的基本成分为Mg和Ni，化学组成为Mg[p-x]α[x]Ni[1-y]β[y]，其中α为Al、Mn、Sn、Ca、Li、B、La、Ce、Nd、Pr、Y或者混合稀土，其中β为Cu、Ti、Co、Fe、Cr、Zr、V、Nb、Mo或者W，其中2≤p≤70，0≤x≤35，0≤y≤0.8。