[发明专利]载物台装置

摘要

本发明以与工件的大型化相对应地使吸着盘大型化，维持平面精度并使吸着盘与载物台一起顺畅地移动为课题。载物台装置(10)具有：石平台(20)，在石平台的平面上移动的载物台(30)，载置在载物台上、吸着平板状工件的吸着盘(40)，以及使载物台沿Y方向移动的一对Y线性电动机(50)。吸着盘具有四边形的吸着面(42)，吸着面的X、Y方向的4条边的尺寸形成为比X载物台(38)的尺寸大，并且X方向的宽度尺寸形成为比石平台的尺寸小。而且具有从吸着盘的下面向直向下方向延伸的4根支柱(60)、以及设置在每根支柱的下端、在空气压力的作用下浮起、能够在石平台的平面上移动的空气垫(70)。吸着盘由支柱和空气垫直接支持，在石平台上移动。

主权项

1.一种载物台装置，具有：在石平台的平面上移动的载物台，载置在该载物台上、吸着平板状工件的吸着盘，以及使上述载物台移动的线性电动机；其特征在于，具备：从上述吸着盘的下面向垂下方向延伸的多个支柱；以及，设置在各支柱的下端、在空气压力的作用下浮起、能够在上述石平台的平面上移动的第1空气垫。