[发明专利]绘制表面轮廓无效
| 申请号： | 200680023184.7 | 申请日： | 2006-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101208580A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | W·波泽;W·D·范阿姆斯特 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/95;G06T7/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于绘制物体表面的表面轮廓的设备，所述设备通过其产生斜率数据。所述设备的斜率数据可以包括根据本发明应当测量并予以校正的测量误差。本发明提出，采用计算实体针对所有测量值计算斜率数据的旋度，以确定测量值显示出了测量误差的表面位置。在第二步骤中，给出了能够采用其校正测量值的建议。 | ||
| 搜索关键词： | 绘制 表面 轮廓 | ||
【主权项】：
1.一种用于绘制物体(2)的表面(1)的表面形貌g ( x → ) = 0 ![]()
处的表面形貌的梯度![]()
b)计算实体(5)，其用于处理来自多个测量位置的表面形貌的梯度的测量值![]()
c)所述计算实体适于针对所述表面的至少一部分计算所述测量值的旋度![]()
以确定所述测量值表现出了测量误差的表面位置(误差位置)，所述误差位置的特征在于具有与零之间的偏差超过阈值的![]()
值。
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