[发明专利]带有挠曲轴的显微镜载物台无效
申请号: | 200680008413.8 | 申请日: | 2006-04-07 |
公开(公告)号: | CN101142509A | 公开(公告)日: | 2008-03-12 |
发明(设计)人: | 史蒂文·C·卡雷;约翰·马尔科姆 | 申请(专利权)人: | 应用精密有限责任公司 |
主分类号: | G02B21/26 | 分类号: | G02B21/26 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;李丙林 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种带有挠曲轴的显微镜载物台,可展示出可预测的挠曲特性和有限交叉耦合平移。接近于Z执行器的Z平台的Z运动可基本上为线性,同时该Z平台的远侧可被允许绕连接有挠曲部件的铰链轴旋转。该显微镜载物台包括设置为基本上与光轴垂直的平台(120);可操作地与所述平台的近侧相连接的执行器(130),并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧;以及可操作地与所述平台的远侧相连接的挠曲部件(160),并且操作为允许所述平台绕铰链轴(170)旋转。 | ||
搜索关键词: | 带有 挠曲 显微镜 载物台 | ||
【主权项】:
1.一种载物台,包括:平台,设置为基本上与光轴垂直;执行器,可操作地与所述平台的近侧相连接,并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧;以及挠曲部件,可操作地与所述平台的远侧相连接,并且操作为允许所述平台绕铰链轴旋转。
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