[发明专利]带有挠曲轴的显微镜载物台无效

专利信息
申请号: 200680008413.8 申请日: 2006-04-07
公开(公告)号: CN101142509A 公开(公告)日: 2008-03-12
发明(设计)人: 史蒂文·C·卡雷;约翰·马尔科姆 申请(专利权)人: 应用精密有限责任公司
主分类号: G02B21/26 分类号: G02B21/26
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;李丙林
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种带有挠曲轴的显微镜载物台,可展示出可预测的挠曲特性和有限交叉耦合平移。接近于Z执行器的Z平台的Z运动可基本上为线性,同时该Z平台的远侧可被允许绕连接有挠曲部件的铰链轴旋转。该显微镜载物台包括设置为基本上与光轴垂直的平台(120);可操作地与所述平台的近侧相连接的执行器(130),并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧;以及可操作地与所述平台的远侧相连接的挠曲部件(160),并且操作为允许所述平台绕铰链轴(170)旋转。
搜索关键词: 带有 挠曲 显微镜 载物台
【主权项】:
1.一种载物台,包括:平台,设置为基本上与光轴垂直;执行器,可操作地与所述平台的近侧相连接,并且操作为以基本上平行于所述光轴的方向平移所述近侧;以及挠曲部件,可操作地与所述平台的远侧相连接,并且操作为允许所述平台绕铰链轴旋转。
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