[实用新型]基板检测装置无效
| 申请号： | 200620137618.3 | 申请日： | 2006-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN201000519Y | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 叶公旭;林祈廷 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型一种基板检测装置，包含有一检测平台，检测平台具有一工作平面，工作平面可用以承载一基板，检测平台的周缘设有至少一检测单元与至少一定位单元，检测单元与定位单元皆可同步相对工作平面沿一第一方向与一第二方向移动，其中第一方向与第二方向分别平行工作平面，且第一方向与第二方向相互垂直，而检测单元亦可相对工作平面沿一第三方向移动，第三方向则分别垂直工作平面、第一方向与第二方向；通过此，本实用新型的基板检测装置可透过检测单元与定位单元沿第一方向与第二方向的移动而快速地完成定位的动作，用以方便进行后续的检测作业。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测装置，其特征在于包含有：一检测平台，具有一工作平面，用以承载一基板；至少一检测单元，设于该检测平台，相对该工作平面而沿一第一方向、一第二方向与一第三方向移动，其中该第一方向平行该工作平面，该第二方向平行该工作平面，并垂直该第一方向，该第三方向则分别垂直该工作平面、该第一方向与该第二方向；以及至少一定位单元，设于该检测平台，并与该检测单元电性连接，该定位单元同步与该检测单元沿着该第一方向与该第二方向移动。
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