[发明专利]特征故障相关

摘要

公开了一些技术，用于确定集成电路设计中的已知特征将在制造过程期间导致缺陷的可能性。根据这些技术中的某些，识别包含有已识别设计特征的多个逻辑单元，以及确定在多个这些逻辑单元的每个中发生的设计特征的量。然后获得至少对应于这些逻辑单元的集成电路部分的故障率。然后，通过将故障率与该特征的发生量相关联来确定指示该特征将导致缺陷的特征故障系数。这些技术中的某些另外还用于识别更可能导致缺陷的新的设计特征。特别，根据各逻辑单元的每个中发生的已知特征的量以及所预测的它们对于对应于该逻辑单元的集成电路部分的成品率的影响，来预测逻辑单元的故障率。然后，这些预测故障率与对应于逻辑单元的集成电路部分的实际故障率做比较，并且识别具有最大偏差的部分。

主权项

一种用于确定集成电路设计特征的特征故障系数的方法，其包括：定义对应于集成电路中物理结构的集成电路设计特征；识别包含有所述特征的多个逻辑单元；对于每个识别的逻辑单元，确定所述特征在该逻辑单元中发生的量，以及确定对应于该逻辑单元的集成电路部分的故障率；以及使所述特征的量与所述故障率相关联，从而为该特征确定通过特征故障系数来定义的至少一个特征故障函数。