[发明专利]粘结卡盘装置有效
| 申请号： | 200580023277.5 | 申请日： | 2005-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1985288A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 横田道也;大谷义和;板下光邦 | 申请（专利权）人： | 信越工程株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 粘结 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种粘结卡盘装置，其相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板，其特征在于：在上述保持板的基板侧设有：在开设于该基板侧面的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件；借助由上述可动膜的一次侧空间与二次侧空间的压力差产生的该可动膜的往复运动使粘结部件的粘结表面与基板抵接而进行粘结，同时，通过强制拉开这两者而进行剥离。
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