[发明专利]观察装置和观察方法无效

专利信息
申请号: 200510055853.6 申请日: 2005-03-15
公开(公告)号: CN1670940A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 仓田俊辅 申请(专利权)人: 奥林巴斯株式会社
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G06T7/00;G01B11/00;G01N21/956
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种观察装置和观察方法,观察装置具有:转换器(5),安装有倍率不同的多个物镜(25);物镜切换单元(27),使转换器(5)动作来切换要插入到观察光路内的物镜(25);载物台(9),与插入到观察光路内的物镜(25)对置设置,用于放置基板(S);物镜检测单元(31),检测插入到观察光路内的物镜(25)的倍率;移动单元(11、13、15),使物镜(25)和载物台(9)向观察光路的光轴(L1)方向和光轴(L1)的正交方向相对移动;以及移动控制单元(33),当物镜检测单元(31)检测出高倍率的物镜(25)时,限制通过移动单元(13、15)的物镜(25)和载物台(9)向正交方向的相对移动。
搜索关键词: 观察 装置 方法
【主权项】:
1.一种观察装置,使用物镜将基板表面放大进行观察,其特征在于,具有:转换器,其安装有倍率不同的多个物镜;物镜切换单元,其使前述转换器动作来切换要插入到观察光路内的前述物镜;载物台,其与插入到前述观察光路内的前述物镜对置设置,放置前述基板使得前述基板的表面与前述观察光路的光轴大致正交;物镜检测单元,其检测插入到前述观察光路内的前述物镜的倍率;移动单元,其使前述物镜和前述载物台向前述观察光路的光轴方向和该光轴的正交方向相对移动;以及移动控制单元,当前述物镜检测单元检测出倍率高于规定倍率的物镜时,限制通过前述移动单元的前述物镜和前述载物台向前述正交方向的相对移动。
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