[发明专利]一种微型三维自扫描共焦显微镜

摘要

本发明公开了一种微型三维自扫描共焦显微镜。双梳状直线扫描器由动子和二个作为定子的X向直线驱动器和Z向直线驱动器组成，第二微透镜位于动子上；点式光源发出的光经过第一微透镜后，成为准直激光束；准直激光束透过微型光学分束镜，经过微扫描反射镜反射后，由第二微透镜聚焦于样本；反射光或荧光沿原光路依次经过第二微透镜和微扫描反射镜反射后，返回到微型光学分束镜，被微光学分束镜反射的光经过第三微透镜和针孔，照射到微型光探测器；控制装置用于数据采集和处理，并控制双梳状直线扫描器在X、Y方向的焦点直线扫描。本发明具有体积小、结构简单、稳定性好、动态特性的频率响应高和直接三维立体自扫描测量的特点。

主权项

1、一种微型三维自扫描共焦显微镜，其特征在于：包括点式光源(1)、第一微透镜(2)、微光学分束镜(3)、微扫描反射镜(4)、第二微透镜(5)、双梳状直线扫描器、第三微透镜(10)、针孔(11)、微型光探测器(12)和控制装置(13)；其中，双梳状直线扫描器由动子(6)和二个作为定子的X向直线驱动器(7)和Z向直线驱动器(8)组成，第二微透镜(5)位于动子(6)上，X向直线驱动器7用于驱动动子(6)沿X向运动，Z向直线驱动器8用于驱动动子(6)沿Z向运动；点式光源(1)发出的光经过第一微透镜(2)后，成为准直激光束；准直激光束透过微型光学分束镜(3)，经过微扫描反射镜(4)反射后，由第二微透镜(5)聚焦于样本9；反射光或荧光沿原光路依次经过第二微透镜(5)和微扫描反射镜(4)反射后，返回到微型光学分束镜(3)，被微光学分束镜(3)反射的光经过第三微透镜(10)和针孔(11)，照射到微型光探测器(12)，由其转化为光电信号输送给控制装置(13)；控制装置(13)控制微扫描反射镜(4)偏转扫描，在第二微透镜的焦平面上形成Y方向的焦点扫描；控制装置(13)控制X向直线驱动器(7)，驱动装夹着微透镜(5)的动子(6)，形成X方向的焦点直线扫描；控制装置(13)控制Z向直线驱动器(8)，驱动装夹着微透镜(5)的动子，形成Z方向的焦点直线扫描；控制装置(13)对三维扫描信号进行采集处理后获得这些空间点的对应的三个方向的位置信号；微型光探测器(12)获得这些对应空间点的光强度信号，并传送给控制装置，控制装置(13)获得光强度信号及其对应的位置信号的集合。