[发明专利]永磁双稳态电热微驱动器

摘要

一种永磁双稳态电热微驱动器，用于微机电系统技术领域。本发明包括：悬臂梁，扭梁，触点，软磁过渡层，永磁体，基体，热驱动机构，引线端口，软磁衬底。以分布于基片上的软磁薄膜为导磁衬底，其上两侧对称制作一对永磁体；软磁性扭梁通过软磁过渡层安置在一对基座之上形成桥式结构；桥的两侧衬底上分别制作一组触点；扭梁中部的两侧双向水平伸展软磁性悬臂梁，悬臂梁两端触点正好处于热驱动机构的上方，热驱动机构安装在基体上，触点闭合后通过引线端口与外电路连接。本发明借助永磁作用力实现稳态热驱动，不但具有一般热微驱动器的优势，驱动电压低而输出力矩大，体积功率密度高稳定可靠，而其双稳态结构可使功耗降低，响应时间显著减少。

主权项

1、一种永磁双稳态电热微驱动器，包括：基体(6)，引线端口(8)，其特征在于，还包括：悬臂梁(1)，扭梁(2)，触点(3)，软磁过渡层(4)，永磁体(5)，热驱动机构(7)，软磁衬底(9)，以分布于基片(6)上的软磁薄膜为导磁衬底(9)，其上两侧对称制作一对永磁体(5)，软磁性扭梁(2)通过软磁过渡层(4)安置在一对基座(5)之上形成桥式结构，桥的两侧软磁衬底(9)上分别制作一组触点(3)，扭梁(2)中部的两侧双向水平伸展软磁性悬臂梁(1)，悬臂梁(1)两端触点(3)正好处于热驱动机构(7)的上方，热驱动机构(7)通过与悬臂梁(1)端部上下重叠，热驱动机构(7)安装在基体(6)上，触点(3)闭合后接通引线端口(8)所在的外电路。