[发明专利]光干涉式反射面板及其制造方法有效
| 申请号： | 03178766.5 | 申请日： | 2003-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1570746A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 林文坚;蔡熊光 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;文琦 |
| 地址： | 台湾省新竹市新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光干涉式反射面板及其制造方法，其步骤为：于一基板表面先制作支撑层，再依序施作第一导体暨光学薄膜层叠、间隙层及第二导体层等，最后将间隙层去除后，即在基板上完成光干涉调节器的制作；在前述制程步骤中，因在第一导体暨光学薄膜层叠施作前即完成支撑层，故制作支撑层时，无须经过精密的背面曝光(Back－side expose)步骤，具有简化制程、提升制造效率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 反射 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光干涉式反射面板的制造方法，其特征在于，于一基板表面先行制作支撑层，再依序施作第一导体暨光学薄膜层叠、间隙层及第二导体层等，又于第二导体层完成后再将间隙层去除，而在反射面板上完成光干涉调节器的制作。
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