[实用新型]双剪切波面干涉测量仪

摘要

一种双剪切波面干涉测量仪，特别适于波差小于一个波长的波面测量。其构成包括：一块输入雅敏光学平行平板，一块输出雅敏光学平行平板，观察屏，在输入雅敏干涉仪光学平行平板和输出雅敏干涉仪光学平行平板之间有右下倾斜移位光学平板，右上倾斜移位光学平板，左下倾斜移位光学平板，左上倾斜移位光学平板。以逆时针方向为正，则右下倾斜移位光学平板的入射角为θ，输出面法线到输入面法线角度为－α；右上倾斜移位光学平板的入射角为θ，输出面法线到输入面法线角度为α；左下倾斜移位光学平板的入射角为－θ，输出面法线到输入面法线角度为α；左上倾斜移位光学平板的入射角为－θ，输出面法线到输入面法线角度为－α。本实用新型测量精度高，易于使用。

主权项

1.一种双剪切波面干涉测量仪，其特征在于该测量仪的构成包括：一块输入雅敏光学平行平板(1)，一块输出雅敏光学平行平板(6)和观察屏(7)，在输入雅敏干涉仪光学平行平板和输出雅敏干涉仪光学平行平板之间设置有右下倾斜移位光学平板(2)，右上倾斜移位光学平板(3)，左下倾斜移位光学平板(4)，左上倾斜移位光学平板(5)，以逆时针方向为正，则右下倾斜移位光学平板(2)的入射角为θ，输出面法线到输入面法线角度为-α；右上倾斜移位光学平板(3)的入射角为θ，输出面法线到输入面法线角度为α；左下倾斜移位光学平板(4)的入射角为-θ，输出面法线到输入面法线角度为α；左上倾斜移位光学平板(5)的入射角为-θ，输出面法线到输入面法线角度为-α。该四块倾斜移位光学平板为楔形平板，输入面和输出面的夹角为楔角α，入射角的绝对值为θ，则楔角α应满足下列关系式：$\alpha =\frac{(N-1)\lambda }{2(\frac{\sqrt{n^2-{\sin }^2\theta }}{\cos \theta }-1)(2R-2S)}$ 其中：λ为入射波长，n为平板折射率，N为观察屏(7)观察口径内的基本条纹数，S为光束通过倾斜移位光学平板后垂直于入射光光轴方向的位移，R为入射光束孔径半径。