[发明专利]薄膜滤波器有效
申请号: | 02135058.2 | 申请日: | 2002-10-23 |
公开(公告)号: | CN1492616A | 公开(公告)日: | 2004-04-28 |
发明(设计)人: | 吕昌岳;陈杰良 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H04J14/02 | 分类号: | H04J14/02;G02B27/10;G02B5/28;H04B10/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一薄膜滤波器包括一玻璃基板和一薄膜叠堆。该薄膜叠堆具多个腔体,每一腔体包括第一反射层组、第二反射层组及一间隔层。每一反射层组具有多个低反射率薄膜和多个高反射率薄膜,其中该高、低反射率薄膜相互交替沉积。该高反射率薄膜由氧化铌Nb2O5-x构成,其中X值范围是0到0.5之间,其所对应的反射率范围是2.15到2.40之间。从而形成本发明的具较少膜层的薄膜滤波器。该薄膜滤波器可获得与现有的具较多膜层的用于波分复用装置的薄膜滤波器相同或更好的光学性能。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 滤波器 | ||
【主权项】:
1.一薄膜滤波器,包括一基板和一薄膜叠堆,该薄膜叠堆沉积于该基板上,其包括多个低反射率薄膜及多个高反射率薄膜,且二者相互交叠沉积,其特征在于:每一高反射率薄膜是由满足Nb2O5-x的铌氧化物构成,其中x值范围是0到0.5之间。
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