[发明专利]从固态表面除去粒子的原地模块无效
| 申请号： | 01803985.5 | 申请日： | 2001-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1395515A | 公开（公告）日： | 2003-02-05 |
| 发明（设计）人： | 约拉姆·于齐耶尔;戴维·约格夫;埃胡德·波勒斯;阿米尔·瓦克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于从衬底(30)表面去除粒子的装置(10)和方法，包括确定表面上粒子的相应位置坐标。电磁能量束经光学清除臂(40)依次导向在每个粒子的坐标上，从而电磁能量在表面的吸收引起粒子从表面上被去除，并基本上不会损伤表面本身。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 表面 除去 粒子 原地 模块 | ||
【主权项】：
1、用于从一衬底表面去除粒子的装置，包括：一移动厚块，其被配置为用于容纳该衬底并使该衬底移动；和一光学臂，其适于将电磁能量的束指向该衬底表面上，使这些粒子从衬底上被除去，该臂可配合厚块的运动而移动，从而在整个表面上扫描光束，以便照射粒子将被去除的表面上的基本上任何点。
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