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[发明专利]具有邻近于扫描镜的相对侧而悬臂的致动器对的微机电系统（MEMS）扫描仪-CN202180043579.8在审
发明人： U·巴兰 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种微机电系统(MEMS)扫描仪(200)，其具有与扫描镜(206)的侧面(204)相邻的致动器对(202)。致动器对(202)包括个体致动器(210)，其物理上邻近于所述扫描镜的相对侧(204)定位，并且在激活时，向扫描镜(206)中诱发角旋转。扭转梁挠曲件(214)从框架结构(212)悬置扫描镜(206)，并且促进扫描镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。在MEMS扫描仪的操作期间，驱动信号可以被施加到致动器对(202)，以使得致动器对的每个个体致动器(210)一致变形，由此生成一定程度的尖端偏转。由于扭转梁挠曲件(214)经由杠杆臂被连接到致动器(210)的尖端，所以该尖端偏转用作致动器行程，所述致动器行程向扭转梁挠曲件(214)中诱发扭转变形——由此引起扫描镜(206)绕旋转轴(218)的旋转。
具有邻近扫描相对悬臂致动器微机系统 mems 扫描仪

[发明专利]具有可变宽度的扭转梁挠曲件的微机电系统(MEMS)扫描仪-CN202180034425.2在审
发明人： U·巴兰;X·C·翁;W·O·戴维斯 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种微机电系统(MEMS)扫描设备，包括相对于针对扫描镜的旋转轴具有可变宽度的扭转梁挠曲件。所述扭转梁的几何特性沿着所述旋转轴而变化，以增加在所述MEMS扫描设备内应变传感器操作以生成反馈信号的位置处的所需模式的机械应变。所述扭转梁挠曲件将所述扫描镜从框架结构机械地悬置。在所述MEMS扫描设备的操作期间，致动器将扭转变形诱导到所述扭转梁挠曲件中，以引起所述扫描镜绕所述旋转轴的旋转。该扭转变形的程度或量与所述扫描镜的角位置直接相关，并且因此，所需模式的机械应变可以是这种扭转变形应变分量。
具有可变宽度扭转挠曲微机系统 mems 扫描仪

[发明专利]调整扫描镜的谐振频率-CN201980043112.6有效
发明人： M·A·钱皮恩;U·巴兰;J·O·米勒;W·O·戴维斯;G·T·吉布森 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2019-06-03 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：公开了涉及扫描显示系统的示例。一个示例提供了包括控制器、光源和扫描镜系统的显示设备。扫描镜系统包括扫描镜和机电致动器系统，扫描镜被配置为以扫描镜的谐振频率在至少一个方向上扫描来自光源的光，机电致动器系统与扫描镜耦合，并且由控制器可控制以调整扫描镜的谐振频率。
调整扫描谐振频率

[发明专利]具有紧凑扫描镜的显示设备-CN202080025646.9在审
发明人： U·巴兰;W·O·戴维斯;J·O·米勒 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：公开了与针对显示设备的扫描镜系统有关的示例。一个示例提供了包括光源(206)、支撑结构(336)和扫描镜系统(300)的显示设备(200)，该扫描镜系统(300)包括镜(302)、位于扫描镜系统的第一侧面处(308)的第一锚(306)、位于扫描镜系统的第二侧面处(316)的第二锚(314)和弯曲结构(304)。弯曲结构包括从第一锚向第一纵向端延伸并且转向以会合镜的第一端的第一部分(304a)，和从第二锚向第二纵向端延伸并且转向以会合到镜的、与第一端相对的第二端的第二部分(304b)。扫描镜系统还包括致动器系统(322、324)，该致动器系统被配置为致动弯曲结构，从而以变化镜的扫描角度。
具有紧凑扫描显示设备