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[发明专利]碳化硅/石墨复合物与包括所述复合物的物件及组合件-CN202211359502.4在审
发明人： T·史考金斯;R·G·谢泼德;A·H·拉希德;J·L·伯尔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-08-18 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L29/16 文献下载
摘要：本申请涉及碳化硅/石墨复合物与包括所述复合物的物件及组合件。本发明描述一种包含(i)内部块状石墨材料及(ii)外部碳化硅基质材料的碳化硅‑石墨复合物，其中所述内部块状石墨材料及外部碳化硅基质材料在其间的界面区域处彼此相互渗透，且其中石墨存在于所述外部碳化硅基质材料中的包含物中。此碳化硅‑石墨复合物适用于许多应用，诸如在制造太阳能电池或其它光学、光电、光子、半导体及微电子产品中的植入式硬掩模，以及在诸如光束线组合件、光束操控镜头、电离腔室衬垫、光束光阑及离子源腔室的离子植入系统材料、组件及组合件中。
碳化硅石墨复合物包括物件组合

[发明专利]用于玻璃塑形模具的涂层及包括所述涂层的模具-CN201680044695.0有效
发明人： T·史考金斯;R·G·谢佩德 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-07-08 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C03B40/00 文献下载
摘要：本发明描述精密玻璃模具，其通过用包含钛的涂层涂布由高纯度、细粒度石墨制成的模具而形成。在各种实施方案中，钛涂层用氧化钇(Y2O3)外涂以提供具有优异性能特性的高度精密玻璃模具。所得玻璃模具可用于形成具有高度光滑光洁度的玻璃制品，以用于例如消费型电子装置应用、医疗器械及光学装置的高度精密应用。高纯度、细粒度石墨的使用允许以低成本加工模具，借此消除对制造必须涂布有包含金属扩散阻挡层的多个层以满足此类精密应用的操作要求的金属模具的需要。
用于玻璃模具涂层包括

[其他]碳化硅过滤薄膜-CN201890000973.7有效
发明人： T·史考金斯;A·拉希德 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B01D71/02 文献下载
摘要：本申请案涉及一种碳化硅过滤薄膜。本实用新型描述用于配合例如液态锡的液态金属使用的碳化硅滤膜，以及使用此滤膜来从所述液态金属移除颗粒的方法，以及使用经过滤液态金属的系统及工艺。
碳化硅过滤薄膜

[发明专利]包含陶瓷材料表面的模具，以及用于制造及使用所述模具的相关方法-CN201980030122.6在审
发明人： T·史考金斯;C·J·亚尼塔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C03B9/48 文献下载
摘要：本发明描述在表面处包含陶瓷材料的模具，以及形成所述模具的方法及使用所述模具的方法；所述陶瓷材料大致上、大部分或全部由三种命名为M、A及X的元素组分构成；所述“M”组分为至少一种过渡金属；所述“A”组分为Si、Al、Ge、Pb、Sn、Ga、P、S、In、As、Tl及Cd中的一者或组合；且所述“X”组分为碳、氮或其组合。
包含陶瓷材料表面模具以及用于制造使用相关方法

[发明专利]碳化硅/石墨复合物与包括所述复合物的物件及组合件-CN201680056231.1在审
发明人： T·史考金斯;R·G·谢泼德;A·H·拉希德;J·L·伯尔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-08-18 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L29/16 文献下载
摘要：本发明描述一种包含(i)内部块状石墨材料及(ii)外部碳化硅基质材料的碳化硅‑石墨复合物，其中所述内部块状石墨材料及外部碳化硅基质材料在其间的界面区域处彼此相互渗透，且其中石墨存在于所述外部碳化硅基质材料中的包含物中。此材料可通过在化学反应条件下使前驱体石墨物件与一氧化硅(SiO)气体接触来形成，所述化学反应条件可有效地将所述前驱体石墨物件的外部部分转化为石墨存在于内部包含物中的碳化硅基质材料，且其中所述碳化硅基质材料及内部块状石墨材料在其间的界面区域处彼此相互渗透。此碳化硅‑石墨复合物适用于许多应用，诸如在制造太阳能电池或其它光学、光电、光子、半导体及微电子产品中的植入式硬掩模，以及在诸如光束线组合件、光束操控镜头、电离腔室衬垫、光束光阑及离子源腔室的离子植入系统材料、组件及组合件中。
碳化硅石墨复合物包括物件组合