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[发明专利]多光束数字扫描以及图像获取-CN202180012557.5在审
发明人： N.考夫曼;A.阿道夫;V.维乔雷克;C.里德塞尔;N.卡默;S.舒伯特 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：一种多光束带电粒子显微镜和一种操作多光束带电粒子显微镜以进行晶片检验的方法，其具有高产量、高分辨率和高可靠性。该操作方法和该多光束带电粒子束显微镜包含用于根据一选定扫描程序，通过多个带电粒子小射束进行同步扫描操作和图像获取的装置，其中可根据来自不同扫描程序的检验任务，选择该选定扫描程序。
光束数字扫描以及图像获取

[发明专利]制备含异氰脲酸酯基团的异氰酸酯混合物的方法-CN201880081775.2有效
发明人： C.哈恩;H-D.阿尔恩茨;S.舒伯特;E.费尔斯克;C.霍本;F.贝伦特 -专利权人：科思创德国股份有限公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C08G18/76 文献下载
摘要：本发明涉及制备含异氰脲酸酯的异氰酸酯混合物的连续方法，其中在步骤a)中提供第一和第二异氰酸酯组分和异氰酸酯基团三聚催化剂的混合物；在步骤b)中使在步骤a)中获得的混合物在第一停留时间区中在升高的温度下反应；在步骤c)中，任选在加入终止剂后在第二停留时间区中进一步加热在步骤b)中获得的反应混合物；和在步骤d)中，在第三停留时间区中通过降低温度而冷却在步骤c)中获得的反应混合物，由此获得所需含异氰脲酸酯的异氰酸酯混合物。
制备含异氰脲酸酯基团氰酸混合物方法

[发明专利]包含多束偏转装置和束终止器的粒子束系统，操作粒子束系统的方法及相关的计算机程序产品-CN202080082331.8在审
发明人： S.舒伯特;D.舒马赫;E.埃塞尔斯;I.穆勒;A.托马;J.雅各比;W.波辛格;D.蔡德勒 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：本发明关于粒子束系统，特别是多束粒子显微镜，其包含多束偏转装置且包含束终止器，且本发明关于用以操作粒子束系统的相关方法及相关的计算机程序产品。在此情况下，多束偏转装置配置在粒子束系统的多束产生器下游和束开关上游的粒子光学束路径中。多束偏转装置用于多个带电的个别粒子束的集体遮蔽。这些撞击在束终止器上，该束终止器配置在粒子光学束路径中、与粒子束直径减小或为最小值的位置齐平。举例来说，这些位置为个别粒子束的交叉平面或中间像平面。
包含偏转装置终止粒子束系统操作方法相关计算机程序产品

[发明专利]使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构-CN202080081375.9在审
发明人： D.蔡德勒;G.F.德尔曼;S.舒伯特 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明包含一方法、一微粒多束显微镜和一半导体结构，以通过微粒多束显微镜的多个微粒束对半导体样品进行充电，并进行高分辨率的电压对比成像，无需切换微粒多束显微镜或移动半导体样品。在这种情况下，由各自具有低的微粒电流的所选微粒束的总和所形成的相加总电流在半导体结构中产生电荷并因此产生电压差。
使用微粒显微镜电压对比成像方法以及半导体结构

[发明专利]粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途-CN202080054165.0在审
发明人： S.舒伯特;D.蔡德勒;G.梅塔利迪斯;H.弗里茨;R.伦克 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。
粒子束系统及其用于灵活设置单独电流强度用途

[发明专利]用于物体的粒子光学检查的粒子束系统和方法-CN202111084339.0在审
发明人： D.蔡德勒;S.舒伯特 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
用于物体粒子光学检查粒子束系统方法

[发明专利]用于物体的粒子光学检查的粒子束系统和方法-CN201910426923.6有效
发明人： D.蔡德勒;S.舒伯特 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
用于物体粒子光学检查粒子束系统方法

[发明专利]多束式粒子束系统及其操作方法-CN201980064424.5在审
发明人： D.蔡德勒;C.里德塞尔;A.索马;G.梅塔利迪斯;J.雅各比;S.舒伯特;R.伦克;U.比尔;Y.萨罗夫;G.库里杰 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
多束式粒子束系统及其操作方法

[发明专利]带有非圆形的链轮的自行车传动机构-CN201710076113.3有效
发明人： S.舒伯特;T.斯普洛埃特;M.罗赫利策尔 -专利权人：移动自行车有限公司
申请日： 2017-02-13 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B62M3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种带有非圆形的链轮的自行车传动机构，具体而言涉及一种自行车传动机构，该自行车传动机构包括正齿轮传动机构，该正齿轮传动机构具有：固定的太阳齿轮，该太阳齿轮带有居中地在该太阳齿轮中伸延的中央支承件轴线；以及在太阳齿轮上行进的围绕行星齿轮支承件轴线旋转的行星齿轮；与正齿轮传动机构共同作用的四连杆，该四连杆包括曲柄，该曲柄固定地与行星齿轮连接并可转动运动地与脚踏曲柄连接；以及齿轮，牵引件可通过该齿轮被驱动。本发明的任务在于，如下改善这种类型的自行车传动机构，即由自行车骑手察觉更平稳的脚踏感。该任务根据本发明以如下的方式解决，即齿轮具有椭圆形的形状。
带有圆形链轮自行车传动机构

[发明专利]由二甲基硫醚生产甲基硫醇的方法-CN201780033033.8有效
发明人： P.披猜;J.罗尔斯顿;S.舒伯特;L.姆莱茨科;J.阿斯曼;E.格罗斯哈德特;P.阿梅拉 -专利权人：诺华丝国际股份有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C07C319/06 文献下载
摘要：本发明总体上涉及使用再循环的二甲基硫醚制造甲基硫醇。特别地，本发明涉及一种用于通过在低温下使用非促进的Al2O3催化剂催化转化二甲基硫醚来连续生产甲基硫醇的方法。
甲基生产硫醇方法

[发明专利]在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间均衡检测器的方法-CN201980061835.9在审
发明人： D.蔡德勒;M.贝恩克;S.舒伯特;C.里德塞尔 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。
借助多射束粒子显微镜物体成像期间均衡检测器方法

[发明专利]自行车变速器与齿轮的组合-CN201780053907.6有效
发明人： T.施普勒特;S.舒伯特;M.罗赫利切尔 -专利权人：移动自行车有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： B62M9/08 文献下载
摘要：描述了一种用于自行车变速器（20）的齿轮（10），其具有带有在其上形成的齿（12a、12b）的外轮廓（11），其中，通过最大节径（Φmax）与最小节径（Φmin）限定外轮廓（11），外轮廓（11）没有任何对称轴线且仅仅形成为相对于其对称中心（M）点对称。本发明因此基于开发一种改善自行车变速器（20）的脚踏感觉的齿轮（10）的问题。外轮廓（11）在每个点处表现出其曲率的改变，由此解决该问题。
自行车变速器齿轮组合

[发明专利]粒子束系统-CN201980041458.2在审
发明人： D.蔡德勒;H.弗里茨;I.米勒;S.舒伯特;A.托马;A.梅杰 -专利权人：卡尔蔡司MULTISEM有限责任公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：一种粒子束系统1，包括：多束式粒子源，该多束式粒子源被配置为产生多个粒子束5；成像光学单元35，该成像光学单元被配置为将物平面29以粒子光学方式成像到像平面7中并将该多个粒子束引导到该像平面上；以及场发生布置41，该场发生布置被配置为在该物平面29附近的区域中产生电和/或磁偏转场，其中，这些粒子束在操作期间被这些偏转场偏转，偏转角度取决于这些偏转场的强度。
粒子束系统

[发明专利]用于连续生产水性聚氨酯分散体的方法和装置-CN201680040540.X有效
发明人： H.G.格拉布洛维茨;A.普罗斯;R.维特科夫斯基;H.布罗伊尔;S.格施特曼;C.J.哈恩;S.舒伯特;J.里特 -专利权人：科思创德国股份有限公司
申请日： 2016-07-07 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C08G18/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种连续生产水性聚氨酯分散体的方法，其特征在于使用微结构混合元件以及在分散步骤期间添加两次水。分散体混合中的能量输入低。另外，本申请描述了适合于实施前述方法的装置。
用于连续生产水性聚氨酯散体方法装置

[发明专利]变速器-CN201710075993.2有效
发明人： T.斯普洛埃特;M.罗赫利策尔;S.舒伯特;F.瓦斯曼;S.G.法因特 -专利权人：移动自行车有限公司
申请日： 2017-02-13 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B62M3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种变速器，其具有：中心轴，其相对于固定的框架元件借助于至少一个中心轴轴承可旋转地来支承；同心地围绕中心轴布置的且固定地与框架元件连接的第一太阳轮；相对于中心轴位置固定地布置的力传递件和至少一个相对于框架元件旋转的第一变速器组件。第一变速器组件包括：承载板，其第一区段抗扭地与中心轴连接并且在其第二区段处借助于行星轮‑轴承支承有行星轮，行星轮与第一太阳轮啮合并且在行星轮处刚性地作用有曲柄臂；以及驱动曲柄，曲柄臂借助于驱动曲柄‑曲柄臂‑轴承旋转铰接地支承在驱动曲柄处并且该驱动曲柄通过运动学上的联结件相对于承载板来支撑。该变速器的旋转的驱动曲柄尽可能无隙地被引导，运动学上的联结件是摆臂。
变速器

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