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[发明专利]真空泵-CN202180008469.8在审
发明人： N·P·斯科菲尔德;S·道德斯威尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：一种真空泵（10），包括：转子（35），其可旋转地安装在定子内；所述转子包括沿从入口（26）到出口（28）的螺旋路径布置的多个成角度的叶片（30）；所述定子包括多个穿孔元件（14），所述多个穿孔元件形成多个穿孔盘，所述多个穿孔盘布置成在不同的轴向位置处与所述螺旋路径相交，穿孔允许沿所述螺旋路径行进的气体分子通过所述穿孔元件。所述穿孔盘中的每一个包括形成所述盘的外周界的外弯曲壁（16）和形成所述盘的内周界的一部分的内弯曲壁（18），所述内周界包括没有内壁的至少一个间隙。
真空泵

[发明专利]多级蚌壳式真空泵-CN200880109925.2有效
发明人： N·P·肖菲尔德;S·道德斯威尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： F04C27/02 文献下载
摘要：一种多级蚌壳式真空泵，其包括：两个壳体部件(12)，它们密封地相互连接，使得由此限定从泵的入口区域纵向地延伸到泵的出口区域的室的阵列。密封装置(30)在真空泵内设置在两个壳体部件之间，以防止流体在所述部件相连的位置输送入和输送出真空泵。设置分散细长通道组(33、34、36、38)，其位于密封装置(30)与室组(14、16、18、20、22)之间。通道用于在真空泵的工作期间保护密封装置(30)免受流经所述室的流体。每个通道都构造为用于接收与邻近通道所要接收的屏障流体具有不同压力的屏障流体。
多级蚌壳真空泵