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- [发明专利]适用于生成亚微米级宽金属线图案的制法-CN00804925.4有效
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R·D·莱德;R·R·丹梅尔;J·P·萨根;M·A·斯帕克
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科莱恩金融(BVI)有限公司;摩托罗拉公司
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2000-03-03
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2002-04-03
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G03F7/32
- 本发明涉及在底材上提供图案的方法用在金属解除法中,此方法包括1)用液体正性光刻胶涂布底材,2)将涂布的底材进行软烘烤,3)将该底材与含约0.005%体积—0.05%体积的亚烷基二醇烷基醚的碱性显影剂水溶液接触,4)将有图案的掩模放在底材上,5)经过掩模将底材曝光,6)将底材进行后曝光烘烤,7)任选地,将底材进行充分曝光,8)用碱性显影剂水溶液将底材显影。本发明还涉及含约0.005-0.5%体积的亚烷基二醇烷基醚的新的氢氧化铵显影剂溶液,以及涉及这种新显影剂溶液的制造方法。
- 适用于生成微米金属线图案制法
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