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[发明专利]用于焦点位置控制的系统和方法-CN202080045998.0在审
发明人： R·克莱默;O·马丁;S·沃尔夫;J·罗内格尔;R·尼德里格 -专利权人：普莱姆斯激光测量技术有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于确定光束状态，特别是用于确定光束焦点位置的光束分析装置。所述光束分析装置包括部分光束成像装置(10)，所述部分光束成像装置(10)具有至少一个用于从所述第一测量光束(40)的第一部分孔径区域形成第一部分光束(41)的第一选择装置(11)，以及成像器件(16)，其用于将用于产生第一光束光斑(45)的第一部分光束(41)成像到具有空间分辨率检测器(21)的检测器单元(20)上。此外，光束分析装置包括评估单元(25)，用于处理探测器单元(20)的信号，确定第一光斑(45)的横向位置(a1)，以及确定第一光斑(45，45')的横向位置(a1，a1')随时间的变化。本发明还涉及一种具有激光光学装置(60)和光束分析装置的用于焦点位置控制的光学系统。本发明还涉及相应的光束分析方法以及用于激光光学装置的焦位控制和用于激光光学装置的焦位跟踪的方法。
用于焦点位置控制系统方法

[发明专利]用于光束扫描的测量探针-CN201880037806.4有效
发明人： R·克莱默;O·马丁;S·沃尔夫;A·科格鲍尔;R·尼德里格 -专利权人：普莱姆斯激光测量技术有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于扫描光束(10)或激光束的测量探针。该测量探针适合用于直接扫描具有非常高的功率的激光束以及适合用于确定具有高空间分辨率和高信噪比的光束(10)的几何参数，因为测量探针对测量探针内部的多次反射不敏感。为此，提出一种装置，该装置包括具有光束入射面(22)、光束出射面(23)、样品光出射面(25)以及探针区域(30)的扫描体(20)。该装置还包括检测器(40)和用于提供扫描体(20)与光束(10)之间的相对运动的装置。扫描体(20)是杆状的，并且由透明的导光材料组成。扫描体(20)具有用于在扫描体(20)上形成表面部分(27)的凹槽(21)，该表面部分(27)包括光束入射面(22)或光束出射面(23)。光束入射面(22)的法线方向(28)相对于光束出射面(23)的法线方向(29)以5°至20°范围的角度α倾斜。探针区域(30)布置在扫描体(20)的横截面平面(26')中，该横截面平面(26')位于凹槽(21)的区域中。横截面平面(26')中的扫描体(20)的横截面尺寸(D')是凹槽(21)外部的横截面平面(26)中的扫描体(20)的横截面尺寸(D)的至少50％。探针区域(30)具有光偏转结构。检测器(40)被布置用于检测至少一部分由探针区域(30)从光束(10)偏转的光束分量(15)。
用于光束扫描测量探针

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