专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]高温蒸汽输送系统以及方法-CN201610814116.8有效
  • V·巴巴扬;Q·梁;T·考夫曼-奥斯本;L·戈代;S·D·耐马尼 - 应用材料公司
  • 2016-09-09 - 2022-02-18 - H01L21/205
  • 本公开大体上涉及一种半导体处理装置。在一个实施方式中,在本文中公开一种处理腔室。所述处理腔室包括:腔室主体和盖,所述腔室主体和盖限定内部容积,所述盖被配置成支撑具有帽的外壳;基板支撑件,所述基板支撑件设置在所述内部容积中;蒸发器,所述蒸发器被耦接至所述帽并且具有通向所述处理腔室的所述内部容积的出口,其中所述蒸发器被配置成将前驱物气体输送至所述蒸发器与所述基板支撑件之间限定的处理区域;以及加热器,所述加热器被设置成与所述蒸发器相邻,其中所述加热器被配置成加热所述蒸发器。
  • 高温蒸汽输送系统以及方法
  • [发明专利]用于处理晶片及清洁腔室的感应等离子体源-CN201280034888.X无效
  • Q·梁 - 应用材料公司
  • 2012-07-26 - 2014-03-26 - H01L21/205
  • 本发明描述用于在基板上沉积材料的方法及系统。一种方法可包括以下步骤:提供处理腔室,该处理腔室分隔成第一等离子体区域及第二等离子体区域。方法可进一步包括以下步骤:将基板输送至处理腔室,其中该基板可占据第二等离子体区域的一部分。方法可额外包括以下步骤:在第一等离子体区域中形成第一等离子体,其中该第一等离子体可能未直接接触基板,且该第一等离子体可通过启动第一等离子体区域上方的至少一个成形的射频(「RF」)线圈形成。此外,方法可包括以下步骤:在基板上沉积材料以形成层,其中受第一等离子体激发的一或更多种反应物可用于沉积该材料。
  • 用于处理晶片清洁感应等离子体
  • [发明专利]用于具流动性的介电质的制造设备及工艺-CN200980117582.9无效
  • D·卢博米尔斯基;Q·梁;J·G·杨 - 应用材料股份有限公司
  • 2009-04-22 - 2011-09-28 - H05H1/34
  • 在此揭露多种基材工艺系统,此系统可包含一工艺腔室,其具有一内部空间,该内部空间可将内腔压与外腔压保持不同。上述系统亦可包含远程等离子体系统,其可操作以在工艺腔室的内部空间之外产生等离子体。此外,上述系统可包含一第一工艺气体通道,其可操作以将第一工艺气体由远程等离子体系统输送至工艺腔室内部空间中;以及一第二工艺气体通道,其可操作以输送未经远程等离子体系统处里的第二工艺气体。上述第二工艺气体通道具有一末端,其开口朝向上述工艺腔室的内部空间中,且该末端至少部分由该第一工艺气体通道所围绕。
  • 用于流动性介电质制造设备工艺
  • [发明专利]填充介电质间隙的制程室-CN200780000644.9有效
  • D·卢波米芮基;Q·梁;S·帕克;K·N·查克;E·伊哈 - 应用材料股份有限公司
  • 2007-05-30 - 2008-12-17 - H01L21/76
  • 本发明是揭露一种用于自介电前驱物的等离子而在基材上形成介电层的系统。该系统包括:一沉积室;一位于沉积室中以支托基材的基材座;以及一耦合至沉积室的远程等离子产生系统,其中该等离子产生系统是用以产生包括一或多种反应性自由基的一介电前驱物。该系统更包括一照射加热系统以加热基材,该加热系统包括至少一光源,其中由光源所发射出的至少部分光线在到达基材之前,是行经沉积室的顶侧。该系统亦包括一前驱物分配系统,以将反应性自由基前驱物及额外的介电前驱物导入沉积室中。亦可包括一原位(in-situ)等离子产生系统,以在沉积室中由供应至沉积室的介电前驱物而产生等离子。
  • 填充介电质间隙制程室

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