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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]导电材料沉积和抛光用的磨具-CN02825001.X无效
发明人： P·S·卢格 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2002-10-15 - 公布日： 2005-04-06 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：描述了一种磨具(12)，该磨具适用于导电材料的沉积和机械抛光，它包括：一个具有纹理表面(102)的抛光层，该抛光层包含粘合剂和与纹理表面(102)相背的第二表面，该抛光层还包括在其上延伸的第一凹槽(104)；背衬(118)具有第一背衬表面和第二背衬表面，第一背衬表面与抛光层的第二表面接触，背衬(118)包含与第一凹槽(104)共同时延伸的第二凹槽(140、148)，并从第一背衬表面穿过背衬延伸至第二背衬表面，第一凹槽(104)和第二凹槽(140、148)的相互尺寸上使得抛光层的纹理表面(102)在视线(a)以外。
导电材料沉积抛光磨具

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