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[实用新型]前驱物输送系统及前驱物供应封装-CN202222342592.8有效
发明人： P·莫雷斯基尼 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本申请案涉及前驱物输送系统及前驱物供应封装。一些实施例涉及用于产生气态前驱物的前驱物输送系统。所述前驱物输送系统可包含容纳固态前驱物材料的一或多个前驱物供应封装。所述一或多个前驱物供应封装可经配置以将所述固态前驱物材料加热到足以导致所述固态前驱物材料热分解的温度。所述固态前驱物材料的所述热分解可产生气态前驱物。所述气态前驱物可供应到利用气态前驱物的工艺。另外实施例涉及前驱物供应封装及相关方法。
前驱输送系统供应封装

[发明专利]前驱物输送系统、前驱物供应封装及相关方法-CN202211072295.4在审
发明人： P·莫雷斯基尼 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本申请案涉及前驱物输送系统、前驱物供应封装及相关方法。一些实施例涉及用于产生气态前驱物的前驱物输送系统。所述前驱物输送系统可包含容纳固态前驱物材料的一或多个前驱物供应封装。所述一或多个前驱物供应封装可经配置以将所述固态前驱物材料加热到足以导致所述固态前驱物材料热分解的温度。所述固态前驱物材料的所述热分解可产生气态前驱物。所述气态前驱物可供应到利用气态前驱物的工艺。另外实施例涉及前驱物供应封装及相关方法。
前驱输送系统供应封装相关方法