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[发明专利]工具夹中的携动凸筋-CN201680007647.4在审
发明人： M·沙勒特;F·米勒;R·库斯毛尔 -专利权人：喜利得股份公司
申请日： 2016-03-10 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： B25D17/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造工具夹装置(3)的方法，用于制造优选钻锤、凿锤或组合锤用的工具夹装置以及用于将携动凸筋(8，9)设置在工具夹装置上，其包括如下方法步骤‑将至少一个携动凸筋(8，9)定位在成型模具(17)的至少一个构件的外周面(15)上；‑将成型模具(17)的至少一个构件(18)插入工具夹装置(3)的圆柱形通孔中，使得携动凸筋(8，9)的至少一个侧面(8a，9a)贴靠在工具夹装置(3)的内周面上；和‑向工具夹装置(3)的外周面上施加力(F)，用以成型工具夹装置(3)并且特别是用以成型工具夹装置(3)的内周面(11)的至少一个局部区域，携动凸筋(8，9)的所述至少一个侧面(8a，9a)贴靠在该至少一个局部区域上，从而产生在所述工具夹装置的内周面(11)与所述至少一个携动凸筋(8，9)之间的力锁合和形状锁合连接。
工具中的携动凸筋

[发明专利]通过增进的蚀刻控制策略来图案化形成的晶体管上方的受不同应力层的技术-CN200880011687.1有效
发明人： M·沙勒特;H·萨尔斯;R·里克特;S·马蒂克 -专利权人：先进微装置公司
申请日： 2008-02-28 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：于图案化具有不同类型之本质应力之受应力层的期间，能够通过根据指示蚀刻率及个别蚀刻工艺(205)之效能的光学测量数据(281)的受控蚀刻(205)，而大幅减少介于第一及第二介电层(230、240)间之二氧化硅基底的蚀刻指针材料之沉积的影响。于其它的范例中，能够将高度有效的蚀刻指针种类并入受应力的介电层(330、340、430、440)中，或能够以减少的层厚度形成于该受应力的介电层的表面部分上，藉此提供增进的端点侦测讯号，而不会产生二氧化硅基底指针层之负面影响。于一个例示具体实施例中，受应力的含硅、氮及碳之层(330)能够与受应力的含硅及氮之层(340)结合，其中碳种类提供突出的端点侦测讯号。
通过增进蚀刻控制策略图案形成晶体管上方不同应力技术