专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于芯片上柔性电路的结构和方法-CN201110137916.8有效
  • R·D·霍尔宁;J·A·赖利;B·潘特 - 霍尼韦尔国际公司
  • 2011-04-21 - 2011-12-14 - H01L43/12
  • 本发明涉及用于芯片上柔性电路的结构和方法。提供一种制备多轴传感器的方法,该方法包括形成覆盖衬底的牺牲材料的图案,以及在牺牲材料和衬底的锚定表面上覆盖柔性材料。柔性材料包括传感器区域,锚定区域,以及至少一个铰接区域。该方法进一步包括由覆盖柔性材料的相应传感器区域的可定向传感器材料形成传感器元件;沿着锚定区域和邻近的传感器区域之间的边界,在柔性材料中形成至少一个相应的锚定铰链;在柔性材料中形成传感器区域,锚定区域,以及至少一个铰接区域;训练传感器元件,以形成在相同的方向上被定向的相应定向传感器元件;蚀刻牺牲材料;以及与锚定表面成一角度地蚀刻衬底。
  • 用于芯片柔性电路结构方法

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