专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]前驱体供应柜-CN202080045932.1有效
  • P·索恩宁;J·韦斯林;M·马里拉 - 青岛四方思锐智能技术有限公司
  • 2020-04-24 - 2023-08-22 - C23C16/448
  • 本发明涉及用于容纳一个或多个前驱体容器(80)的前驱体供应柜(2),前驱体供应柜(2)具有限定内部柜空间(1)的柜壁(3、4、6、7、8、9)。前驱体供应柜(2)包括通气排出连接件(20、21、22)、一个或多个通气入口连接件(10、11)、用于容纳前驱体容器(80)的两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30),该通气排出连接件(20、21、22)布置成将通气气体从内部柜空间(1)排出。气密式前驱体供应腔室(30)布置在前驱体供应柜(2)的内部柜空间(1)内部,使得前驱体供应柜(2)的包围单独的气密式前驱体供应腔室(30)的内部柜空间(1)是通气的。
  • 前驱供应
  • [发明专利]前驱体供应腔室-CN202080045851.1在审
  • J·韦斯林;M·马里拉;P·索恩宁 - BENEQ有限公司
  • 2020-04-24 - 2022-02-01 - C23C16/448
  • 本发明涉及用于容纳前驱体容器(80)的前驱体供应腔室(10),该前驱体供应腔室(10)与原子层沉积设备连接。前驱体供应腔室(10)包括腔室壁(11、12、13、15、16、18),该腔室壁(11、12、13、15、16、18)限定前驱体供应腔室(10)内部的腔室空间。前驱体供应腔室(10)还包括腔室门组件(12、17、30、32、40)、第一加热元件(61)以及气密式前驱体连接件(50),该腔室门组件(12、17、30、32、40)布置成以气密方式关闭前驱体供应腔室(10),第一加热元件(61)设置至前驱体供应腔室(10)并且布置成加热前驱体供应腔室(10)的腔室空间内部的前驱体容器(80),气密式前驱体连接件(50)设置至腔室壁(11、12、13、15、16、18)以将前驱体从前驱体容器(80)供应到前驱体供应腔室(10)外部。
  • 前驱供应

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