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- [发明专利]相移波纹聚焦监视器-CN02816700.7无效
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B·拉丰丹;J·基;H·利维森
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先进微装置公司
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2002-02-22
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2004-11-17
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G03F9/00
- 一种光学监视器，其是包括一本体，该本体具有第一复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线，以及第二复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线，且介于该第一复数条线与第二复数条线的间具有相对小的角度。当第一复数条线的影像提供于该半导体本体上时，依据该监视器朝向或离开该半导体本体相对的移动，该线影像相应的移动至该半导体本体。第二复数条线的影像提供于该半导体本体上时，依据该监视器朝向或离开该半导体本体以不同的方式相对的移动。于分析前述移动的期间，由该第一与第二复数条线的影像于该半导体本体上形成波纹边缘，藉以实现于该半导体本体上适当的影像聚焦。
- 相移波纹聚焦监视器
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