“H.A.吉斯”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于沉积有机层的方法和设备-CN202080082942.2在审
发明人： H.A.吉斯;A.杰奥尔吉;J.R.宾德尔;D.K.苏布兰马尼安姆;T.谢弗;D.基珀;O.M.维尔辛格 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在基底(16)上沉积有机层的设备，该设备具有：气体混合装置(1)，该气体混合装置具有分别用于馈入由通过承载气体输送的先前蒸发的具有大于300g/mol或400g/mol的摩尔质量的有机分子构成的气流(F1、F2)的一个或多个输入端(2、2’)、通过多次偏转使有机分子在承载气体中均匀混合的气体偏转元件(7)和输出端(8)，从输出端逸出均匀的气体混合物，输送线路(9)，该输送线路连接至输出端(8)，和进气机构(10)，该进气机构具有气体分布体积(11)，输送线路(9)通入该气体分布体积中，并且气体分布体积具有带有出气开口(12)的出气表面(13’)，该出气表面与用于容纳基底(16)的基底支架(15)对置。本发明此外涉及一种用于在这种设备中、在基底上沉积层的方法。为了改进被沉积的层的横向的均匀性而建议，将输送线路(9)中的平均流动速度(vm)选择为，输送线路(9)具有这样设计的扩散影响装置(25)，或在输送线路(9)的面对进气机构(10)的端部上设置有压力壁垒(20)，使得在输送线路(9)中，有机分子的指向输送线路(9)的横截面中的、导致横向的不均匀的层生长的、偏析的扩散至少被抑制、优选被阻止。
用于沉积有机方法设备

1
共 1 条