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[发明专利]用于柔性基板的沉积平台及其操作方法-CN201480029903.0在审
发明人： J·M·迭戈兹-坎波;H·兰德格拉夫;T·斯托利;S·海因;F·里斯;N·莫里森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：描述一种用于处理柔性基板的设备。所述设备包括：真空腔室，所述真空腔室具有第一腔室部分、第二腔室部分以及第三腔室部分；退绕轴和缠绕轴，所述退绕轴用于支撑待处理的所述柔性基板，所述缠绕轴支撑具有薄膜沉积在其上的柔性基板，其中所述退绕轴和所述缠绕轴被布置在所述第一腔室部分中；至少一个间隙闸门，用于使所述第一腔室部分与所述第二腔室部分分离，其中所述间隙闸门被配置成使得所述柔性基板可从其中移动通过并且所述间隙闸门可打开和关闭以便提供真空密封；涂布滚筒，所述涂布滚筒具有旋转轴和弯曲的外表面，用于沿着所述弯曲的外表面引导所述基板通过第一真空处理区域以及至少一个第二真空处理区域，其中所述涂布滚筒的第一部分被设置在所述第二腔室部分中，并且所述涂布滚筒的剩余部分被设置在所述第三腔室部分中；对应于所述第一处理区域的第一处理站以及对应于所述至少一个第二真空处理区域的至少一个第二处理站，其中所述第一处理站和所述第二处理站各自包括用于提供真空连接的凸缘部分。另外，所述第三腔室部分具有凸形腔室壁部分，其中所述第三腔室部分具有设置在其中的至少两个开口，具体来说，其中所述至少两个开口基本上平行于所述凸形腔室壁部分；并且其中所述第一处理站和所述至少一个第二处理站被配置成接收在所述至少两个开口中，其中所述第一处理站和所述第二处理站的所述凸缘部分提供与所述第三腔室的真空密封连接。
用于柔性沉积平台及其操作方法

[发明专利]远程控制装置-CN200580042837.1无效
发明人： R·胡普费尔;H·兰德格拉夫 -专利权人：韦巴斯托股份公司
申请日： 2005-10-04 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： B60K35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种远程控制装置(10)，尤其用于操作机动车辆的增强的功能。它由本发明提供，它具有可以由使用者操纵的多媒体数据存储器(12)。
远程控制装置

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